超声波流量计芯片的原理探讨   六十六

(3)超声波流量计关于避免衬底噪声的措施

衬底噪声产生的原因：源、漏．衬底pn结正偏导通，或者电源连接点引入的串扰，使得衬底电位会产生抖动偏差，这称为衬底噪声。解决方法：对于轻掺杂的衬底，要用保护环把敏感部分电路包围起来；或把gnd和衬底在片内连在一起，然后由一条线连到片外的全局地线，使得gnd和衬底的跳动一致，也可以消除衬底噪声。为保证衬底可靠的电位连接，要尽量把衬底接触孔(substrate contact)的位置和该位置的管子的衬底注入级(substrate injector)的距离缩小，越近越好，同时还要求衬底接触孔的数量要足够的多，尽量多打孔，保证衬底与电源接触电阻较小。