超声波流量计芯片的原理探讨  六十八

(3)电容充电控制电路版图

超声波流量计电容充电控制电路是根据捕捉到的STOP电平高低变换信号来控制开关的打开与关闭。因为外接三个不同的充电电容，为了使电容充电操作一致，在版图中采用对称的设计，各个信号到达三个电容开关的线路基本一致，减小误差。

(4)电阻

在标准CMOS工艺中，电阻有使用硅化物阻挡层Poly电阻、扩散电阻、阱电阻等形式。其中扩散电阻与阱电阻随工艺及温度变化很大，而Poly电阻对衬底电容小和失配小，具有线性度高等特点，故在本设计中均采用的Poly电阻。

(5)ESD保护

ESD是当今MOS集成电路中最重要的可靠性问题之一。在芯片上由于种种原因可能积累电荷，当电荷积累到一定程度，放电过程就会击穿MOS管，造成永久的损坏。ESD现象主要能对电子器件造成以下的损坏：在半导体器件中由于介质击穿而导致氧化物薄膜破裂；由于EOS(electrical overstrcss)引起过热导致金属导线熔化；由于寄生PNPN结构而导致CMOS器件闭锁；使元器件结构中产生潜藏的缺陷，它们并不立即失效，但会引起断续的故障以及长期可靠性问题。为了避免静电对电路的破坏，需要在电路中加个静电释放模块，也就是ESD电路。