超声波流量计芯片的原理探讨   七十一

4 1 4超声波流量计芯片整体版图

整体版图所示，由于芯片的PAD有“个，所以芯片引脚的ESD保护占了很大的面积，使版图的整体面积较大。

4 1 5芯片版图验证

如前文提到的版图设计流程，本文在使用Virtuoso Layout Editor J=具完成版图的设计后，对芯片的版图进行了DRC和LVS验证，通过后对带有寄生参数的版图州表进行后仿真，以判断所设计版图的性能是否达到设计指标要求。如不满足则重新粕局、靠线开始，版图文件是可以直接交给半导体加工工厂生产的。但是，在交付厂商之前必须做DRC验证。因为，为了保证版图能正确制出，流片厂家会根据工艺定义很多的设计规则，只有版图满足厂家的所有的设计规则，才可能被正确的制H{。一般配来，设计规则有很多，例如最小间距、晶小孔径等。不符台厂家提出的设计规则要求的版图在工艺线是不可能被正确生产出来的。