超声波流量计芯片的原理探讨 七十二
超声波流量计用Dracula做DRC,它的输入有两个,一个是版图文什,即自己岐计的版图设计工具中导出的GDSII文件或其他格式,另一个是规则文件(Rule File), DRC工具怎样做DRC。提供的版图几何规范自己写。要做版图验证,而如果自己写规则文件,就对工艺规则的掌握有更高要求丁。
对一个DraculaDRC的使用者米说,主要有卧F几个音{f分的知识要掌握。第一,工艺规则。要求对芯片在半导体加工工厂里的制造工艺流程有一定程度的了解。第二,rule文件的编写和编辑。第三,Dracula输出的DRC信息的使用。
DRC检查的内容包括:最小间距、最小宽度、最小露头、金属最小凹槽等等。