超声波流量计探头及换能器原理  一三八

沉铜法:把清洗干净的晶片放入氢氟酸(HF)中腐蚀1分钟,取出并用水冲净,放入10%氯化锡溶液中浸润两分钟,取出并用流水冲净,然后放入2%硝酸银溶液中浸润两分钟,取出并在100℃左右烘干,再放入沉铜液中沉铜15分钟,取出用流水冲净,最后采用电镀法加厚,再抛光即成.

沉铜液为原液1000:(5-7)促进剂搅拌均匀混和后使用,原液配方为:

硫酸铜(CuSO4·7H2O)--150克氢氧化钠(NaOH)--300克 丙三醇(甘油)--0.24克 水--1升将硫酸铜先溶入500毫升水中,加热使充分溶化,冷却至室温,加入甘油搅拌即成甘油铜,将氢氧化钠溶于500毫升水中,在30-40℃下把甘油铜与氢氧化钠溶液混和均孕(注意防止沉淀).

促进剂为浓度36%的甲醛溶液.

采用沉铜法在晶片上得到铜电极(晶片边缘要刮除铜层以免短路),铜的比重较大,这种电极对晶片谐振频率的影响要比银电极为大.

当采用烧渗银法涂复电极时,由于其过程中有加热工序,对已经极化处理的压电晶片也会产生去极化效果,故采用这种方法涂敷电极的压电晶片需重新进行极化处理.下面以锆钛酸铅(PZT)晶片的极化处理为例:

极化温度:将晶片放入硅油中加热到140℃左右极化电压:每毫米晶片厚度采用2-3千伏的直流电压极化时间:在上述条件下保持10分钟,然后撤去电压并降温

或者在120-150℃下使用直流3-5KV/mm晶片厚度持续20-60分钟,然后撤去电压并降温.

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