超声波流量计芯片的原理探讨  九

 

1．3超声波流量计设计的工作环境

(1)硬件环境：SUN工作站。

(2)软件环境：Solaris操作系统，Cadence软件。

(3)开发工具：电路编辑工具Composer，仿真软件Hspic宅，版图绘制工具Virtuoso，验证工具Dracula。

(4)流片工艺：多晶圆项目0．5／比m DPTM CMOS工艺。

 

2 时差法超声波流量计的原理与分析

最早的超声波流量计就是采用的直接时差法。随着电子技术与集成电路的发展，时差法也不断改进与发展，依然在超声波流量计测量领域被广泛的应用。

2．1 时差法流量计的测量原理

时差法超声波流量计，是利用超声波在横向穿过流动的液体时，在其顺流和逆流介质中，其超声波的速度有差异而形成传播的时间差。根据时间差测得流体的流量。

图2．1时差法超声波流量计测量原理图